MicroPatterning

두께 0.1 mm, 직경 1인치의 원형 Glass 표면에 약 2 µm 수준의 미세 Spot Size를 적용하여 반복적인 육각 형상의 정밀 미세 패턴을 가공했습니다. 미세하게 집속된 펨토초 레이저를 이용해 가공 영역을 국부적으로 제어하고, 조밀한 형상에서도 균일한 패턴 배열을 구현했습니다.

초박형 Glass는 취성이 높아 가공 과정에서 균열과 치핑이 발생하기 쉬우며, 열이 누적되면 변형이나 파손으로 이어질 수 있습니다. 펨토초 레이저의 초단펄스 가공은 주변부로 확산되는 열을 줄이고, 약 2 µm의 정밀한 Spot Size를 통해 미세 형상의 경계와 반복 정밀도를 확보하는 데 유리합니다.

초박형 Glass 기판에 미세 구조와 기능성 표면을 구현할 수 있어 MEMS, 바이오센서, 미세유체칩, 광학소자 및 디스플레이 부품 개발에 활용할 수 있는 정밀 Patterning 사례입니다.