SOLUTION / PATTERNING

펨토초 레이저를 이용하여 미세 패턴, 정밀 표면 구조 및 다양한 형상의 Micro Structure를 구현합니다.

소재와 패턴 형상에 따라 레이저 조건과 가공 경로를 최적화하여 정밀 Patterning 공정을 개발합니다.

Material
Slide Glass
Thickness
Channel width approx. 200 µm · Channel depth approx. 20 µm
Target
200 µm Glass Microfluidic Channel Patterning

상세 설명

펨토초 레이저를 이용해 슬라이드 글라스 표면에 분기 채널, 직선 채널 및 사행형 채널로 구성된 미세 유로 네트워크를 직접 패터닝했습니다. 가공된 채널은 약 200 µm의 선폭과 20 µm 내외의 깊이로 제작되었습니다.

글라스는 취성이 높고 열에 민감한 소재이지만, 펨토초 레이저의 초단 펄스 가공은 주변부로 전달되는 열영향을 줄이면서 필요한 영역을 국부적으로 가공하는 데 유리합니다. 마스크나 금형 없이 설계 데이터를 기반으로 다양한 유로 형상을 구현할 수 있어 맞춤형 구조 제작과 시제품 개발에도 적합합니다.

가공 후 유입부에 붉은색 액체를 떨어뜨리고, 액체가 설계된 미세 유로를 따라 분기 및 이동하는 모습을 영상으로 촬영했습니다. 이를 통해 유로의 연결 상태와 액체 전달 거동을 정성적으로 확인할 수 있습니다.

이 가공 기술은 Lab-on-a-Chip, 바이오·화학 분석 칩, 진단용 마이크로플루이딕 카트리지 및 유체 기반 센서 플랫폼의 연구개발과 시제품 제작에 활용할 수 있습니다.

주요 응용 분야

  • Lab-on-a-Chip 마이크로플루이딕 칩
  • 바이오·화학 분석용 유리 칩
  • 현장진단용 마이크로플루이딕 카트리지
  • 시료 이송·분기·혼합 유로 구조
  • 시약 전달 및 반응 채널 네트워크
  • 마이크로플루이딕 센서 및 검출 플랫폼
  • 세포·입자 제어 연구용 칩
  • 맞춤형 미세 유로 시제품 및 연구개발

RESULT IMAGES

FEATURES / SPECIFICATIONS

  • Slide Glass 직접 패터닝
  • 채널 선폭 약 200 µm
  • 채널 깊이 약 20 µm
  • 분기·직선·사행형 유로 네트워크
  • 붉은색 액체를 이용한 유로 시각화
  • 채널 연결성과 액체 전달의 정성적 확인
  • 비접촉식 펨토초 레이저 직접 가공
  • 마스크 없이 맞춤형 패턴 구현
  • 주변부 열영향 저감에 유리
  • 마이크로플루이딕 설계의 신속한 시제품 제작

PROCESS VIDEO