MicroPatterning

마이크로미터 단위의 계측과 정렬이 필요한 분야에서는 눈금의 간격뿐 아니라 선폭의 균일성, 숫자의 식별성, 전체 패턴의 치수 정확도가 중요합니다.

본 사례에서는 투명한 슬라이드 글라스 표면에 전체 길이 500 µm의 마이크로 룰러를 패터닝했습니다. 최소 눈금 간격은 10 µm이며, 각각의 눈금은 약 2 µm 선폭으로 형성했습니다. 주요 위치에는 길이를 바로 확인할 수 있도록 숫자도 함께 가공하여 현미경 관찰 시 눈금과 수치를 동시에 판독할 수 있도록 구성했습니다.

첨부된 현미경 측정 이미지에서는 전체 패턴 길이가 약 500.01 µm로 확인되었습니다. 펨토초 레이저를 이용한 비접촉식 직접 패터닝 방식으로 마스크 없이 미세 선과 문자, 길이가 서로 다른 눈금을 하나의 공정에서 구현했습니다.

눈금 간격, 전체 길이, 선폭, 숫자 및 문자 형상은 사용 목적에 따라 변경할 수 있습니다. 현미경과 비전 검사 장비의 스케일 확인, 정밀 스테이지의 이동량 검증, 반도체·디스플레이 공정용 기준 패턴, 광학 및 바이오 분야의 맞춤형 마이크로 스케일 제작에 활용할 수 있습니다.